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          你用的是99.999%的高純氣體嗎?

          2021-08-17

          通常半導體生產行業,高純氣體廠家將氣體劃分成常用氣體和特殊氣體兩類。其中,常用氣體指集中供給而且使用非常多的氣體,比如 N2、H2、O2、Ar、He 等。隨著國民經濟各部門的飛速發展,對氣體工業的產品提出了越來越多的需求,國內氣體工業的大發展使氣體產品不僅在品種上大大增多,而且氣體純度越來越高,其含量常常在99.999%以上。


          高純氣體


          高純氣體廣泛應用于電子產品、半導體集成電路、TFT-LCD電真空器件、光電器件和光導纖維等生產過程,半導體集成電路生產所需高純氣體的品種多、用量較大、純度和雜質含量要求都十分嚴格,需要對氣體中微量(ppm)、痕量(ppb)級成分進行分析。


          PDD模塊化脈沖放電氦離子化檢測器

          模塊化脈沖放電氦離子化檢測器(PDD)是一款具有超高靈敏度的通用型檢測器,對所有的物質均具有較高的靈敏度,因此,該檢測器常被用于高純氣體中雜質的分析,其檢測限能達到ppb級別。


          TRACE 1300 GC 系列即時連接脈沖放電檢測器 (PDD)

          高純氣體分析方案

          高純氣體分析方案采用PDD氣相色譜檢測系統,能實現對多種高純氣體(Ne、H2、O2、N2、Ar、Kr、CH4、CO、CO2等)的分析。對幾乎所有的無機和有機化合物均有很高的響應,分析重復性良好,檢出限低,適合多數痕量分析方法測試的要求。


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