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          選對了事半功倍,高純氣體管道安裝前配管及附件材質如何選擇?

          2020-10-30

          萬丈高樓平地起,氣體廠家整個高純氣體管道系統的性能大多基于管道安裝工作時的質量。


          其中,關于配管和附件材質的選擇是工程質量的重點之一。為保證高純氣體在運輸中的純度,減少污染,應選用滲透性小、出氣速率低、吸附性差的材料。



          目前,半導體行業中高純氣體輸送系統管道材料采用的是不銹鋼光亮退火管(SS304BA、SS316BA)、不銹鋼電拋光管(SS316L-EP)等。在管道安裝前,應根據不同的現場環境和使用氣體特性,選擇合適的配管材料和設計管路型式。

          氣體廠家


          1. 對要求控制高純氣體中總雜質含量≤1.0×10-6及以下的管材應用SS316L-EP管。


          2. 惰性氣體使用一般的單層管,作為制程用的反應氣體,則選用高級別的SS316L-EP管;使用與芯片接觸但不參與制程反應的氣體則選用SS316L-BA管。


          3. 自燃爆炸,有劇毒的特種氣體,如SiH4、PH3、AsH3等則考慮使用雙套管,它的內/外管材質一般為SS316L-EP/SS316L-AP,此設計的主要目的有兩點,首先可保護內管直接受到外力撞擊,其次能將由內管滲漏的氣體阻絕于外管,并利用相關的檢測設備檢測。


          目前,氣體廠家常用的檢測設計有正壓和負壓兩種方式,負壓設計是將內外管間抽成真空,正壓設計則是灌以氮氣維持正壓,兩者皆可接上壓力表或者壓力警報器檢知泄漏狀態。



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